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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0098321 (2002-03-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 27 |
A method for making a thin film device or pyroelectric sensor is provided. A film layer of thin film functional material is grown on a large diameter growth substrate. One or more protective layers may be deposited on the surface of the growth substrate before the thin film functional material is de
1. A method for making a pyroelectric sensor, comprising the steps of: (a) depositing at least one protective layer on the surface of a growth substrate; (b) growing a layer of pyroelectric thin film functional material on the at least one protective layer; (c) implanting hydrogen to a selected
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