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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0734420 (2000-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 9 |
A process for fabricating an optical membrane device comprises providing a handle wafer and then oxidizing a surface of the handle wafer to form an insulating layer. A device wafer is then bonded to the handle wafer. An optical membrane structure is formed in this device wafer. The insulating layer
1. An optical membrane device comprising: a handle wafer material; an optical membrane layer in which a deflectable membrane structure is formed, wherein the optical membrane layer is between 5 and 10 micrometers in thickness; a solid insulating layer separating the handle wafer material from t
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