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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0012309 (1998-01-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 11 |
A valve where the valve membrane is made from silicone rubber. Preferably the valve is a microelectromechanical systems (MEMS) thermopneumatic valve. Because of the advantageous physical properties of silicone rubber, the valve provides desirable performance with reasonable power consumption.
1. A microelectronic valve comprising: a first substrate defining an inlet part, an outlet part and a channel cavity extending between said inlet part and said outlet part with a valve seat in said channel cavity at a location allowing sealing between said inlet and outlet; a valve membrane form
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