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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0831889 (2001-05-23) |
우선권정보 | JP-0354279 (1998-12-14); JP-0354281 (1998-12-14); JP-0332433 (1998-11-24) |
국제출원번호 | PCT/JP99/06510 (1999-11-22) |
국제공개번호 | WO00/31471 (2000-06-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 9 |
Gas flow control apparatus that includes a gas flow control unit having a gas flow adjusting capability and a gas closing capability of selectively opening and closing a gas. A stepping motor is used for driving the gas flow control unit. A drive control unit is provided for controlling the stepping
Gas flow control apparatus that includes a gas flow control unit having a gas flow adjusting capability and a gas closing capability of selectively opening and closing a gas. A stepping motor is used for driving the gas flow control unit. A drive control unit is provided for controlling the stepping
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