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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0368376 (2003-02-20) |
우선권정보 | JP-0066722 (2002-03-12); JP-0358342 (2002-12-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 3 |
A flow rate sensor high in pressure resistance has a structure to facilitate the measurement of a minuscule differential pressure for measurement of a very small flow rate. A chamber (20) is defined into a primary chamber (21) and a secondary chamber (25) by two diaphragms (31, 32) arranged in an op
1. A flow rate sensor comprising a chamber with first and second diaphragms arranged therein, in an opposed relation to each other, wherein said chamber is divided into a primary chamber facing said first diaphragm and a secondary chamber facing said second diaphragm, wherein a fluid is passed f
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