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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0032259 (2001-12-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 12 |
A thermal mass flow controller includes a sensor assembly, a valve assembly, and a mass flow controller housing. A thermally conductive element conducts heat from the valve assembly away from the sensor assembly, thereby reducing uncontrolled contributions of heat to the sensor assembly.
1. A thermal mass flow controller comprising: a thermal mass flow controller housing including a fluid input port and a fluid output port and a bypass channel disposed between the input and output ports; a thermal mass flow sensor assembly mounted to the thermal mass flow controller housing for
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