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Nanocrystalline films for gas-reactive applications 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-025/18
출원번호 US-0833168 (2001-04-11)
발명자 / 주소
  • Eastman, Jeffrey A.
  • Thompson, Loren J.
출원인 / 주소
  • The University of Chicago
대리인 / 주소
    Emrich and Dithmar
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 14

초록

A gas sensor for detection of oxidizing and reducing gases, including O2,CO2,CO, and H2,monitors the partial pressure of a gas to be detected by measuring the temperature rise of an oxide-thin-film-coated metallic line in response to an applied electrical current. For a fixed input power, the temper

대표청구항

A gas sensor for detection of oxidizing and reducing gases, including O2,CO2,CO, and H2,monitors the partial pressure of a gas to be detected by measuring the temperature rise of an oxide-thin-film-coated metallic line in response to an applied electrical current. For a fixed input power, the temper

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Shigemori Tesshi (Nishinomiya JPX) Nozawa Yoshinao (Suita JPX) Kojima Teruhisa (Kawasaki JPX) Kitajima Satoshi (Hiratsuka JPX), Gas leakage detector.
  2. Okamoto Eiji (Fujisawa JPX) Miyake Kuniaki (Fujisawa JPX), Gas sensor.
  3. Wang Da Y. (Lexington MA) Kennedy Daniel T. (Burlington MA) MacAllister ; Jr. Burton W. (Hudson NH), Gas sensor element.
  4. Takeuchi Takashi (Aichi JPX) Takahashi Hideaki (Aichi JPX) Saji Keiichi (Aichi JPX) Kondo Haruyoshi (Aichi JPX) Hayakawa Kiyoharu (Aichi JPX), Limiting electric current type oxygen sensor with heater and limiting electric current type oxygen concentration detecti.
  5. Eastman Jeffrey A. ; Rittner Mindy N. ; Youngdahl Carl J. ; Weertman Julia R., Method for producing nanocrystalline multicomponent and multiphase materials.
  6. Siegel Richard W. (Hinsdale IL) Hahn Horst (Champaign IL) Eastman Jeffrey A. (Woodridge IL), Method of making nanocrystalline alpha alumina.
  7. DiMeo ; Jr. Frank ; Bhandari Gautam, Micro-machined thin film hydrogen gas sensor, and method of making and using the same.
  8. Liu Chung-Chiun ; Savinell Robert F. ; Jin Zhihong, Nano-crystalline porous tin oxide film for carbon monoxide sensing.
  9. Ryerson John D. (Holland Patent NY), Solid state sensor.
  10. Bernd Mueller DE; Thomas Brinz DE; Bernd Schumann DE, Temperature sensor.
  11. Okamoto Eiji (Fujisawa JPX) Miyake Kuniaki (Fujisawa JPX), Thermal conductivity gas sensor for measuring fuel vapor content.
  12. Okajima Yuichiro,JPX ; Kikuchi Kei,JPX ; Ide Takahiro,JPX ; Nakamura Kenichi,JPX, Thin film deposition method and gas sensor made by the method.
  13. Takahashi Hideaki (Aichi JPX) Kondo Haruyoshi (Aichi JPX) Takeuchi Takashi (Aichi JPX) Hayakawa Kiyoharu (Aichi JPX) Muraki Hideaki (Aichi JPX), Thin film oxygen sensor with microheater.
  14. Tien Tseng-Ying (Ann Arbor MI) Weber David C. (Toledo OH) Woodruff Philip R. (Tiffin OH), Titania oxygen sensor with chrome oxide compensator.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  2. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawacz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  3. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawasz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  4. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawasz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  5. Chen,Philip S. H.; Chen,Ing Shin; Dimeo, Jr.,Frank; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing target gas species in semiconductor processing systems.
  6. Hoagland, William, Hydrogen gas indicator system.
  7. Kusnezoff, Mihails; Ziesche, Steffen; Paepke, Anne, Method for determining diffusion and/or transfer coefficients of a material.
  8. Arndt,Michael; Lorenz,Gerd, Micromechanical thermal-conductivity sensor having a porous cover.
  9. DiMeo, Jr., Frank; King, Mackenzie E., Optical hydrogen detector.
  10. Carpenter, Michael A.; Sirinakis, George, Optical methods and systems for detecting a constituent in a gas containing oxygen in harsh environments.
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