[특허]Method and apparatus for minimizing semiconductor wafer contamination

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Method and apparatus for minimizing semiconductor wafer contamination 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65G-049/07
출원번호	US-0966156 (2001-09-28)
발명자 / 주소	Antonell, Michael Houge, Erik Cho Plew, Larry E. Vartuli, Catherine Juszczak, Jennifer
출원인 / 주소	Agere Systems Inc.
대리인 / 주소	Wolter, Esquire, Robert L.Beusse Brownlee Wolter Mora & Maire, P.A.
인용정보	피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 14

초록 ▼

A method and apparatus for minimizing the surface contamination of semiconductor wafers (11) during the semiconductor device manufacturing process. Semiconductor wafers (11) are stored in a storage cassette (12) with their face sides (17) facing downward and their back sides (16) facing upward. Particulate contamination present on the back sides of the wafers is thereby secured to the wafers by the force of gravity, and the faces of the wafers are shielded from falling debris. An automated wafer handling device (19) is provided with a rotary joint (22) to accomplish the wafer flipping motion before inserting a wafer into a cassette and after removing the wafer from the cassette.

대표청구항 ▼

1. A method for minimizing semiconductor wafer contamination, the method comprising the step of positioning a plurality of semiconductor wafers in a wafer storage device in a face down position with a backside of the wafers facing upward and a face of each of the wafers facing downward, and said wafers are located at a semiconductor processing station and said positioning step includes the steps of removing the wafers from the processing station, rotating the wafers so the backside of the wafers face upward and inserting the wafers into the storage device, and thereby preventing contaminants from falling from the backside of a wafer and landing on a face of the wafers positioned therebelow, further including the step of positioning a plurality of semiconductor wafers in alternating rotated and non-rotated positions with respect to one another.

이 특허에 인용된 특허 (14)

Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906) Wittman Boyd C. (2707 Northridge Dr. Colorado Springs CO 80918), Actuated rotary retainer for silicone wafer box.
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Prentakis Antonios E. (Cambridge MA), Apparatus and method for loading and unloading wafers.
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Anderson Gary L. ; Wilson Keith, Apparatus for use in cleaning wafers.
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Ohori Shinichi,JPX, Device for preventing contacting of wafers in wafer cassette.
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Choul-gue Park KR, Etching apparatus for manufacturing semiconductor devices.
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Li Meng Chun,TWX, Guide mechanism for aligning a handheld vacuum pickup wand with a selected wafer in a cassette.
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Slocum Alexander H., Method of and apparatus for locating and orientating a part on a gripper and transferring it to a tool while maintaining.
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Prigge Helene (Unterschleissheim DEX) Schnegg Anton (Burghausen DEX) Brehm Gerhard (Emmerting DEX), Process for preserving the surface of silicon wafers.
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Schmidt Wayne J. ; Oberlitner Thomas H., Robots for microelectronic workpiece handling.
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Abbe Robert C. (Newton MA) Baker David G. (North Grafton MA), Rotary to linear motion robot arm.
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Byers William (Milford CT) Kochersperger Peter (Greenwich CT), Wafer flip apparatus.
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Howells John ; Gorman Andrew P. ; Peltola Randall W., Wafer handling system and method.
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Karasikov Nir (Haifa ILX) Ilssar Yoel (Haifa ILX), Wafer inspection system.
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Yen Tai-Yu,TWX ; Tsai Wen-Wang,TWX, Wafer-fetching sensing device for wafer storage apparatus.
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이 특허를 인용한 특허 (1)

Cao, Chunlei; Zang, Ying; Mei, Yuqi; Sun, Wei, Overturning and shifting mechanism.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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