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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0519449 (2000-03-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 73 인용 특허 : 26 |
A diamond-like glass film is disclosed. In specific implementations, the film includes a diamond-like glass containing at least about 30 atomic percent carbon, at least about 25 atomic percent silicon, and less than or equal to about 45 atomic percent oxygen on a hydrogen-free basis. The diamond-lik
1. An article comprising: a substrate, and a film deposited on at least a portion of the substrate, the film comprising a diamond-like glass comprising a dense random covalent system comprising on a hydrogen-free basis at least about 30 atomic percent carbon, at least about 25 atomic percent sil
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