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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0199273 (2002-07-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 15 |
A semiconductor processing component includes a quartz body characterized by silicon oxide filled micro cracks. The component is utilized as a processing component in a semiconductor furnace system. The quartz body is prepared by cleaning the component to remove a build up silicon layer and to expos
1. A method of preparing a quartz body processing component for use in a semiconductor furnace, comprising cleaning said component to remove a build up silicon layer and to expose micro cracks in the surface of said component and to etch said cracks into trenches; applying a silicon layer onto said
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