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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0067489 (2002-02-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 9 |
A sealing assembly is provided for sealing retractable opposing planar surfaces of processing modules each having sealable cavities for the fabrication of semiconductor wafers. The sealing assembly may include an inner frame adapted to be concentrically positioned within a central opening of an oute
A sealing assembly is provided for sealing retractable opposing planar surfaces of processing modules each having sealable cavities for the fabrication of semiconductor wafers. The sealing assembly may include an inner frame adapted to be concentrically positioned within a central opening of an oute
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