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Method of interbay transportation 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65H-001/00
  • B65G-001/00
출원번호 US-0115009 (2002-04-04)
우선권정보 JP-0321092 (2001-10-18)
발명자 / 주소
  • Ogata, Ryoji
  • Ohtsuka, Hirofumi
  • Yanaru, Taichi
출원인 / 주소
  • Renesas Technology Corp., Ryoden Semiconductor System Engineering Corporation
대리인 / 주소
    Leydig, Voit & Mayer, Ltd.
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 4

초록

An interbay transportation system includes bays in which process equipment are provided, stockers provided for the individual bays, and a vehicle traveling through the stockers for transporting a semi-processed product from one of the stockers to another. Timing to start transportation is determined

대표청구항

1. A method of interbay transportation for an interbay transportation system comprising bays in which process equipment are provided, stockers respectively provided for each of the bays, and a vehicle for loading a plurality of semi-processed products and transporting semi-processed products from th

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Michael R. Conboy ; Patrick J. Ryan ; Elfido Coss, Jr., Automated material handling system method and arrangement.
  2. Kiriseko Tadashi (Kanagawa JPX) Tani Hiromichi (Kawasaki JPX) Soma Noriko (Yokohama JPX) Shigemi Nobuhisa (Kawasaki JPX) Toyoda Takayuki (Yokkaichi JPX), Continuous semiconductor substrate processing system.
  3. Sugimura Shunsuke,JPX ; Nose Matsuo,JPX, Control device for a work carrying system.
  4. Kin-Sang Lam ; Sey-Ping Sun, Method and apparatus for reducing wafer to wafer deposition variation.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Chang, Ko-Pin; Shih, Jui-An; Liu, Hui-Tang, Integrated transport system.
  2. Lowrance, Robert B.; Englhardt, Eric Andrew; Rice, Michael R.; Shah, Vinay; Koshti, Sushant S.; Hudgens, Jeffrey C., Methods and apparatus for a band to band transfer module.
  3. Shigemori, Takashi; Yamamoto, Takeshi, Parts assembly system.
  4. Wu,Johnny Hsiang; Li,Bo, Proactive staging for distributed material handling.
  5. Aoki, Toshihiko; Imao, Shunichi; Kosugi, Akihiko; Uchino, Kiichi, Production system for wafer.
  6. Chen,Yu Chi; Lai,Wei Yu; Peng,Yung Chang, Stocker utilization self-balancing system and method.
  7. Yamagishi,Takashi; Kato,Kazufumi; Miura,Takuma; Ozawa,Katsutoshi, Transportation state notification system and method, and information storage medium.
  8. Yamagishi, Takashi; Kato, Kazufumi; Miura, Takuma; Ozawa, Katsutoshi, Transportation state notification system and method, program, and information storage medium.
  9. Iijima,Toshihiko; Akiyama,Shuji; Hosaka,Hiroki; Nakao,Takashi, Work convey system, unmanned convey vehicle system, unmanned convey vehicle, and work convey method.
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