최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0882394 (2001-06-13) |
발명자 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 15 |
A method and apparatus for transferring a substrate is provided. In one embodiment, an apparatus for transferring a substrate includes at least one end effector. A disk is rotatably coupled to the end effector. The disk is adapted to rotate the substrate relative to the end effector. The end effecto
1. Apparatus for transferring a substrate comprising:an end effector having a substrate supporting portion adapted to support the substrate thereover;a motor disposed in the substrate supporting portion of the end effector, the motor having a stationary portion and a rotating portion, the stationary
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.