$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Semiconductor wafer and testing method for the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G10R-031/26
출원번호 US-0385565 (2003-03-12)
우선권정보 TW-91117403 A (2002-07-31)
발명자 / 주소
  • Lin, Yueh Lung
  • Tong, Ho Ming
  • Feng, Yao Hsin
  • Tao, Su
  • Pan, Chi Cheng
  • Yang, Kuo Pin
  • Hung, Sung Ching
출원인 / 주소
  • Advanced Semiconductor Engineering Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 4

초록

A semiconductor wafer includes a plurality of areas and an array of dice disposed within each of the areas. The feature of the present invention is that at least two fiducial marks are disposed in each of the areas. The present invention further provides a method of testing a sawed semiconductor waf

대표청구항

1. A testing method comprising the steps of:providing a diced wafer comprising at least a first area and a second area, wherein both the first area and the second area include at least two fiducial marks and an array of dice each having a plurality of electrical contacts;providing a prober having a

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Chen Ming Chun ; Lin Yung-Tao, Arrangement for improving defect scanner sensitivity and scanning defects on die of a semiconductor wafer.
  2. Boulin, David M.; Farrow, Reginald C.; Kizilyalli, Isik C.; Layadi, Nace; Mkrtchyan, Masis, Method of forming an alignment feature in or on a multilayered semiconductor structure.
  3. Junko Komori JP, Probe card device.
  4. Lau James C. K. (Torrance CA) Malmgren Richard P. (Castaic CA) Lui Kenneth (Fountain Valley CA), Testing device for integrated circuits on wafer.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Shimizu, Masahiro, High-speed rotating shaft of supercharger.
  2. Nishihashi, Ryouji; Kobayashi, Kunio, Method of manufacturing and testing a semiconductor device.
  3. Shimizu, Masahiro; Shibui, Yasuyuki, Motor driven supercharger with motor/generator cooling efficacy.
  4. Shibui, Yasuyuki; Shimizu, Masahiro, Motor-driven supercharger.
  5. Shibui, Yasuyuki; Shimizu, Masahiro, Motor-driven supercharger.
  6. Shimizu, Masahiro; Shibui, Yasuyuki, Motor-driven supercharger.
  7. Fujita, Harumitsu; Sasaki, Masaharu, Semiconductor device, semiconductor wafer, chip size package, and methods of manufacturing and inspection therefor.
  8. Shimizu, Masahiro; Takahashi, Yukio, Supercharger.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로