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Memory cell capacitors having an over/under configuration 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-027/108
  • H01L-029/76
  • H01L-029/94
  • H01L-031/119
출원번호 US-0372051 (2003-02-21)
발명자 / 주소
  • Gonzalez, Fernando
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Leffert Jay & Polglaze, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 13

초록

Fabrication of memory cell capacitors in an over/under configuration facilitates increased capacitance values for a given die area. A pair of memory cells sharing a bit-line contact include a first capacitor below the substrate surface. The pair of memory cells further include a second capacitor suc

대표청구항

1. A memory cell, comprising:an access transistor having a first source/drain region and a second source/drain region, wherein the second source/drain region is coupled to a bit line; anda capacitor below a channel region of the access transistor, wherein the capacitor is coupled to the first source

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Ohtsuki Sumito (Matsudo JPX), Buried plate type DRAM.
  2. Henley Francois J. ; Cheung Nathan, Controlled cleavage process and device for patterned films.
  3. Park Kyucharn,KRX ; Lee Yeseung,KRX ; Ban Cheonsu,KRX ; Lee Kyungwook,KRX, Dynamic access memory using silicon-on-insulator.
  4. Nishihara Toshiyuki,JPX, Dynamic random access memory fabricated with SOI substrate.
  5. Park Kyucharn,KRX ; Lee Yeseung,KRX ; Ban Cheonsu,KRX ; Lee Kyungwook,KRX, Dynamic random access memory using silicon-on-insulator techniques.
  6. Henley Francois J. ; Cheung Nathan W., Method for controlled cleaving process.
  7. Park Kyucharn (Kyungki-do KRX) Lee Yeseung (Seoul KRX) Ban Cheonsu (Seoul KRX) Lee Kyungwook (Kyungki-do KRX), Method for making a dynamic random access memory using silicon-on-insulator techniques.
  8. Morihara Toshinori,JPX, Method of manufacturing a DRAM having an SOI structure.
  9. Cheung Nathan W. ; Lu Xiang ; Hu Chenming, Method of separating films from bulk substrates by plasma immersion ion implantation.
  10. Bruel Michel (Veurey FRX), Process for the production of thin semiconductor material films.
  11. Kim Jae K. (Kyoungki KRX), Semiconductor memory device having a double-stacked capacitor structure.
  12. Henley Francois J. ; Cheung Nathan W., Silicon-on-silicon hybrid wafer assembly.
  13. Henley Francois J. ; Cheung Nathan W., Silicon-on-silicon wafer bonding process using a thin film blister-separation method.
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