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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0212967 (2002-08-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 15 |
An RF matching network includes a switching element that quickly switching between a first matching sub-network and a second matching sub-network, such that the impedance of neither sub-network is coupled to the other when selected by the switch. In one embodiment, the switching element includes a b
1. A radio frequency matching network having a radio frequency power signal input and a radio frequency power signal output, the radio frequency matching network comprising:a first matching sub-network having a first load impedance matching impedance in a first mode of powering a plasma load;a secon
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