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Large size single crystal seed crystal fabrication by intergrowth of tiled seed crystals 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-025/02
  • C30B-025/04
출원번호 US-0221392 (2001-03-13)
국제출원번호 PCT/US01/08047 (2001-03-13)
국제공개번호 WO01/68957 (2001-09-20)
발명자 / 주소
  • Snyder, David W.
  • Everson, William J.
출원인 / 주소
  • II-VI Incorporated
대리인 / 주소
    Webb Ziesenheim Logsdon Orkin & Hanson, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 12

초록

Disclosed is a method for reproducibly producing large size, single crystals in a crystal growth chamber. The method includes the steps of: (a) forming a plurality of smaller size tiles of single crystals of substantially the same crystal orientation as the desired large size, single crystal; (b) as

대표청구항

1. A method for reproducibly producing a large size, single crystal in a crystal growth chamber comprising the steps of:(a) forming a plurality of smaller size tiles of single crystals of substantially the same crystal orientation;(b) assembling the plurality of smaller tiles into a structure having

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Barrett Donovan L. (Penn Hills Township PA) Seidensticker ; deceased Raymond G. (late of Forest Hills PA by Joan Seidensticker ; heir ) Hopkins Richard H. (Murrysville PA), Apparatus for growing large silicon carbide single crystals.
  2. Glass Robert C. (Chapel Hill NC) Gaida Walter E. (East Pittsburgh PA) Ronallo Ronald R. (Pittsburgh PA) Hobgood Hudson McDonald (Murrysville PA), Apparatus for growing silicon carbide crystals.
  3. Barrett Donovan L. ; Hopkins Richard H., Feedstock arrangement for silicon carbide boule growth.
  4. Barrett Donovan L. (Penn Hills Twp. PA) Hobgood Hudson M. (Murrysville PA) McHugh James P. (Wilkins Twp. PA) Hopkins Richard H. (Murrysville PA), High resistivity silicon carbide substrates for high power microwave devices.
  5. Vodakov Jury A. (prospekt Engelsa ; 69/1 ; kv. 35 Leningrad SU) Mokhov Evgeny N. (prospekt Energetikov ; 54 ; korpus 2 ; kv. 59 Leningrad SU), Method for epitaxial production of semiconductor silicon carbide utilizing a close-space sublimation deposition techniqu.
  6. Hopkins Richard H. ; Augustine Godfrey ; Hobgood H. McDonald, Method of growing 4H silicon carbide crystal.
  7. Barrett Donovan L. ; Thomas Richard N. ; Seidensticker ; deceased Raymond G. ; Hopkins Richard H., Method of producing large diameter silicon carbide crystals.
  8. Furukawa Katsuki (Sakai JPX) Tajima Yoshimitsu (Nara JPX) Suzuki Akira (Nara JPX), Method of producing silicon-carbide single crystals by sublimation recrystallization process using a seed crystal.
  9. Izumi Teruo,JPX, Seed crystals, seed crystal holders, and a method for pulling a single crystal.
  10. Takahaski Jun (Sagamihara JPX) Kanaya Masatoshi (Sagamihara JPX), Sublimation growth of single crystal SiC.
  11. Davis Robert F. (Raleigh NC) Carter ; Jr. Calvin H. (Raleigh NC) Hunter Charles E. (Durham NC), Sublimation of silicon carbide to produce large, device quality single crystals of silicon carbide.
  12. Davis Robert F. (Raleigh NC) Carter ; Jr. Calvin H. (Raleigh NC) Hunter Charles E. (Durham NC), Sublimation of silicon carbide to produce large, device quality single crystals of silicon carbide.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. D'Evelyn, Mark P.; Speck, James S.; Kamber, Derrick S.; Pocius, Douglas W., Large area nitride crystal and method for making it.
  2. Zwieback, Ilya; Rengarajan, Varatharajan; Brouhard, Bryan K.; Nolan, Michael C.; Anderson, Thomas E., Method for silicon carbide crystal growth by reacting elemental silicon vapor with a porous carbon solid source material.
  3. Gupta, Avinash K.; Semenas, Edward; Zwieback, Ilya; Barrett, Donovan L.; Souzis, Andrew E., Method of and system for forming SiC crystals having spatially uniform doping impurities.
  4. Stoddard, Nathan G., Methods and apparatus for manufacturing monocrystalline cast silicon and monocrystalline cast silicon bodies for photovoltaics.
  5. Stoddard, Nathan G.; Clark, Roger F., Methods and apparatuses for manufacturing cast silicon from seed crystals.
  6. Stoddard, Nathan G., Methods and apparatuses for manufacturing geometric multicrystalline cast silicon and geometric multicrystalline cast silicon bodies for photovoltaics.
  7. Stoddard, Nathan G., Methods and apparatuses for manufacturing monocrystalline cast silicon and monocrystalline cast silicon bodies for photovoltaics.
  8. Stoddard, Nathan G., Methods for manufacturing geometric multi-crystalline cast materials.
  9. Stoddard, Nathan G., Methods for manufacturing monocrystalline or near-monocrystalline cast materials.
  10. Ramzipoor, Kamal; Chia, Alfred N. K.; Wang, Liwei; Lee, Chang Y., Stent fabrication via tubular casting processes.
  11. Gupta, Avinash K.; Semenas, Edward; Zwieback, Ilya; Barrett, Donovan L.; Souzis, Andrew E., System for forming SiC crystals having spatially uniform doping impurities.
  12. Zwieback, Ilya; Anderson, Thomas E.; Gupta, Avinash K.; Nolan, Michael C.; Brouhard, Bryan K.; Ruland, Gary E., Vanadium doped SiC single crystals and method thereof.
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