[특허]Wafer container cleaning system

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-003/02
출원번호	US-0286317 (2002-11-01)
발명자 / 주소	Dolechek, Kert Davis, Jeffry
출원인 / 주소	Semitool, Inc.
대리인 / 주소	Perkins Coie LLP
인용정보	피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 25

초록 ▼

A system and method for cleaning boxes used for handling flat media includes a rotor rotatably mounted within an enclosure, with spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor. The rotor has at least one box holder assembly for holding a box. At least one retainer bar is located on the rotor for engaging a front section of the box to retain the box in the box holder assembly during rotation of the rotor. The retainer bar is preferably moveable from a first position where the retainer bar restrains the box on the box holder assembly, to a second position where the retainer bar is moved away from the box. The box holder assembly may alternatively include a base with a plurality of grooved elements thereon that are adapted to engage a flange on the box for securing the box to the box holder assembly.

대표청구항 ▼

1. A system for cleaning boxes used for handling flat media, comprising:a rotor rotatably mounted within an enclosure;spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor;at least one box holder assembly on the rotor for holding a box; andat least one retainer bar on the rotor for engaging a front section of the box to retain the box in the box holder assembly during rotation of the rotor. 2. The system of claim 1 wherein the retainer bar is moveable vertically and is substantially C-shaped for engaging the front section and two side sections of the box when the box is positioned in the box holder assembly. 3. The system of claim 1 further comprising at least one sensor on at least one of the rotor and the box holder assembly for indicating at least one of when a box is present on the box holder assembly, when a box is properly loaded into the box holder assembly, and when the box holder assembly is open for loading/unloading or closed for cleaning. 4. The system of claim 1 further comprising a plurality of grooved rollers on the box holder assembly for engaging a flange on a bottom surface of the box to secure the box to the box holder assembly. 5. The system of claim 1 further comprising a door holder assembly attached to the box holder assembly for securing a door of a box to the rotor. 6. The system of claim 5 further comprising a plurality of grooved rollers on the door holder assembly for engaging the door to secure the door to the door holder assembly. 7. A system for cleaning boxes used for handling flat media, comprising:a rotor rotatably mounted within an enclosure;spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor;at least one box holder assembly on the rotor for supporting a box; anda retainer bar on the rotor moveable from a first position where the retainer bar restrains the box on the box holder assembly, to a second position where the retainer bar is moved away from the box. 8. The system of claim 7 wherein the box holder assembly includes a base and a lip at a front section of the base for retaining the box on the base and for preventing the box from rotating about an axis. 9. The system of claim 8 further comprising side guides on the base for guiding the box into the box holder assembly. 10. The system of claim 7 wherein the retainer bar is substantially C-shaped for engaging a front section and two side sections of the box when the box is positioned in the box holder assembly. 11. The system of claim 7 further comprising an actuator on the rotor for raising and lowering the retainer bar. 12. The system of claim 7 further comprising an angled guide attached to the rotor above the box holder assembly between the retainer bar and a central axis of the rotor, the guide configured to engage a top section of the box when the box is positioned in the box holder assembly.

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