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[미국특허] Probe tile for probing semiconductor wafer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01R-031/02
출원번호 US-0601764 (2003-06-23)
발명자 / 주소
  • Root, Bryan J.
출원인 / 주소
  • Celadon Systems, Inc.
대리인 / 주소
    Dorsey &
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 15

초록

A tile used to hold one or more probes for testing a semiconductor wafer. The tile has one or more sites for inserting one or more probes to test the semiconductor wafer. Each site has one or more holes. Each hole is coupled with a slot forming an angle. A probe is inserted into the tile from a top

대표청구항

1. In a semiconductor wafer testing system where one or more probes are used to test a semiconductor wafer, a tile is used to hold the at least one or more probes for making contacts with the semiconductor wafer, the tile comprising:one or more sites for inserting one or more probes to test the semi

이 특허에 인용된 특허 (15) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Byrnes Herbert P. (Poughkeepsie NY) Wahl Richard (Fishkill NY), Dual-mode Z-stage.
  2. Becker David (Brookline MA) Gelo Mark (Concord MA), Electrode friction chuck.
  3. Bonaria Luciano (Turin ITX), Electronic module handling device for an automatic test apparatus.
  4. Yutori Toshiaki (Takasago JPX) Kanetsuki Yutaka (Akashi JPX), Inspection probe having thin metal wires with self resiliency.
  5. Chism Warren L. (Vancouver WA), Low capacitance probe tip.
  6. Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Making discrete power connections to a space transformer of a probe card assembly.
  7. Kister January ; Lobacz Jerzy, Membrane for holding a probe tip in proper location.
  8. Hunt Bill (Snohomish WA) Parshotam Mahesh (Edmonds WA), Multi-axis universal circuit board test fixture.
  9. Yamashita Satoru (Kofu JPX), Probe apparatus.
  10. Root, Bryan J., Probe tile for probing semiconductor wafer.
  11. Bachelder Thomas W. ; Barringer Dennis R. ; Conti Dennis R. ; Crafts James M. ; Gardell David L. ; Gaschke Paul M. ; Laforce Mark R. ; Perry Charles H. ; Schmidt Roger R. ; Van Horn Joseph J. ; White, Segmented architecture for wafer test and burn-in.
  12. Asar Madhu P. (Reynoldsburg OH), Test probe assembly provides precise and repeatable contact forces.
  13. Rich Donald S. (15 Buttonwood Dr. Long Valley NJ 07853), Tray-to-tray circuit package handler.
  14. Vinh Nguyen T., Variable contact pressure probe.
  15. Tsuta Kiyoaki (Mitaka JPX), Wafer inspecting system.

이 특허를 인용한 특허 (10) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Kimoto, Gunsei, Electrical signal connector.
  2. Yoshida,Takuto; Sato,Atsushi, Inspection unit.
  3. Root, Bryan J., Probe tile for probing semiconductor wafer.
  4. Root,Bryan J., Probe tile for probing semiconductor wafer.
  5. Root,Bryan J., Probe tile for probing semiconductor wafer.
  6. Root, Bryan J.; Funk, William A., Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer.
  7. Root, Bryan J.; Funk, William A., Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer.
  8. Root, Bryan J.; Funk, William A., Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer.
  9. Root, Bryan J.; Funk, William A., Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer.
  10. Maruyama, Yuji; Tashiro, Kazuhiro; Shimabayashi, Kazuhiko; Goto, Shigeru; Nakashiro, Takayuki; Koshinuma, Susumu; Shirakawa, Masayoshi, Testing device for testing a semiconductor device.

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