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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0070079 (1998-09-18) |
국제출원번호 | PCT/US98/19564 (2004-01-09) |
§371/§102 date | 20040109 (20040109) |
국제공개번호 | WO99/14575 (1999-03-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 43 |
A curved mirrored surface (78) is used to collect radiation scattered by a sample surface (76a) and originating from a normal illumination beam (70) and an oblique illumination beam (90). The collected radiation is focused to a detector (80). Scattered radiation originating from the normal and obliq
1. An optical system for detecting anomalies of a sample, comprising:optics directing a beam of radiation along a first path at an oblique angle of incidence onto a surface of the sample; at least two detectors comprising a first detector located to detect light scattered by the surface within a fir
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