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Modular fluid-dispensing system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B24B-049/00
출원번호 US-0282823 (2002-10-29)
발명자 / 주소
  • Buchanan, Arnold
  • Ceckowski, Doug
  • Doan, Deborah
  • Dougill, Nicolas John
  • Hart, Michael F.
  • Holt, Scott
  • Leithner, Kelly
  • Shewey, Chuck
출원인 / 주소
  • Buehler Ltd.
대리인 / 주소
    Banner &
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 9

초록

A modular fluid-dispensing system includes a master control dispenser and/or one or more satellite dispensers that communicate bi-directionally with the master control dispenser. The master control dispenser is programmable and may dispense one or more solutions. Each satellite may dispense fluid in

대표청구항

1. A fluid-dispensing system comprising:a master control dispenser that dispenses fluid from at least one master-control-dispenser fluid container;wherein the master control dispenser includes:a master-control-dispenser processor that is separate from a grinder/polisher, at least one pump coupled to

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Doyle Ralph R. (Des Plaines IL), Abrasive slurry supply system for use in metallographic sample preparation.
  2. Doyle Ralph R. (Des Plaines IL) Zimmer Robert E. (Niles IL), Abrasive slurry supply system for use in metallographic sample preparation.
  3. Guthrie William L. ; Spektor Semyon ; Ocanada Ivan A. ; Shendon Norm, Apparatus and method for distribution of slurry in a chemical mechanical polishing system.
  4. Tolles Robert D. ; Guthrie William L. ; Marks Jeffrey ; Cheng Tsungnan ; Spektor Semyon ; Ocanada Ivan A. ; Shendon Norm, Apparatus and method for distribution of slurry in a chemical mechanical polishing system.
  5. Mok Peter, Apparatus for dispensing slurry.
  6. Olsen Gregory A. ; Smith Carey R. ; Pratt Wayne, Methods and apparatus for measuring and dispensing processing solutions to a CMP machine.
  7. Pilland ; deceased Ulrich (late of Hochdorf DEX) Ascherl ; heir by Gerhard (Weiden DEX) Ascherl ; heir by Robert (Herbrechtingen DEX) Ray Franz (Reichenback/Fils DEX) Hofvenstam Ake (Jerbu SEX), Process for the control of a machine tool.
  8. Aaron Jack ; Yueh William, Slurry dispensing system for chemical-mechanical polishing apparatus.
  9. Cardenas Jon ; Plevich Alexander P. ; Kinsey Timothy C., Slurry distribution system that continuously circulates slurry through a distribution loop.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Wegelin, Jackson W.; Archer, Matthew J., Hygiene compliance module.
  2. Wegelin, Jackson W.; Archer, Matthew J., Hygiene compliance module.
  3. Wegelin, Jackson W.; Archer, Matthew J., Hygiene compliance module.
  4. Wegelin, Jackson W.; Archer, Matthew J., Hygiene compliance module.
  5. Upton, Daniel E.; Gruhn, Joel D., Wind turbine rotor blade components and machine for making same.
  6. Snodgrass, David, Wireless communication for dispenser beacons.
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