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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0177789 (2002-06-20) |
우선권정보 | JP-0191202 (2001-06-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 19 |
The present invention can remove particles such as dust by flowing solvent gas such as CO2 through a line filter and eject it from a nozzle so as to be converted to solid particles or liquid droplets and eject to a workpiece to be cleaned so as to clean particles or organic materials. It is possible
1. A cleaning apparatus comprising:a container in which solvent is sealed therein; a temperature maintaining device which maintains the temperature of the solvent at a constant value; a CO2 gas line which introduces solvent gas contained in the container; a line filter which is disposed in an interm
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