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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0346565 (2003-01-17) |
§371/§102 date | 20031212 (20031212) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 7 |
A microscale out-of-plane thermal sensor. A resistive heater is suspended over a substrate by supports raised with respect to the substrate to provide a clearance underneath the resistive heater for fluid flow. A preferred fabrication process for the thermal sensor uses surface micromachining and a
1. A thermal sensor for sensing fluid flow provided on a substrate, comprising:a resistive heater including a thin film metal, said resistive heater being suspended above the substrate by supports connected at one end to said substrate;each of said supports comprising a ductile metal beam bent along
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