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Horizontal cassette 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/48
출원번호 US-0194983 (2002-07-11)
§371/§102 date 20030926 (20030926)
발명자 / 주소
  • Duban-Hu, Joy
  • Nigg, James
  • Wiseman, Brian
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar &
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 20

초록

A cassette, particularly suitable for storing film frames, in a preferred embodiment utilizes an integral shell portion with a plurality of shelves to support a plurality of axially aligned horizontally stacked film frames. A door, preferably vacuum-formed, covers the open front of the shell to encl

대표청구항

1. A cassette for holding a plurality of film frames or wafers, the cassette comprising an enclosure portion having a closed top, a closed bottom, opposing closed sidewalls, a closed backside, and an open front, the enclosure portion further comprising: zone of insertion and removal of film frames o

이 특허에 인용된 특허 (20)

  1. Gregerson Barry ; Gallagher Gary ; Wiseman Brian, 300 mm microenvironment pod with door on side.
  2. Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906) Wittman Boyd C. (2707 Northridge Dr. Colorado Springs CO 80918), Actuated rotary retainer for silicone wafer box.
  3. Babbs Daniel A. ; Schultz Richard E., Aligner for a substrate carrier.
  4. Zohni, Nael O.; Fishley, Clifford, Apparatus and method of semiconductor wafer protection.
  5. Maney George A. (Palo Alto CA) Faraco W. George (Saratoga CA) Parikh Mihir (San Jose CA), Box door actuated retainer.
  6. Bores Gregory W. ; Zabka Michael C., Cushioned wafer container.
  7. Krampotich Dennis J. ; Nyseth David L., Door guide for a wafer container.
  8. Grohrock Peter (Hoehenkirchen-Siegertsb DEX), Lockable container for transporting and for storing semiconductor wafers.
  9. Williams Randall S. (Chaska MN) Cheesebrow Nicholas T. (St. Paul MN), Mechanical interface wafer container.
  10. Burns Kyle S., Paint tray with storable carrying handle.
  11. Hosoi Masato,JPX, Shipping container.
  12. Johnson Douglas M. (Waconia MN), Shipping container for silicone semiconductor wafers.
  13. Fujimori Yoshiaki,JPX ; Takahashi Masato,JPX ; Kamada Toshiyuki,JPX, Storage container for precision substrates.
  14. Coe Thomas U. (15217 Sobey Rd. Saratoga CA 95070), Substrate and media carrier.
  15. Elliott David J. (147 Rice Rd. Wayland MA 01778), Transport containers for semiconductor wafers.
  16. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J. ; Ulschmid Todd M. ; Bores Gregory W., Transport module.
  17. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J., Transport module with latching door.
  18. Nyseth David L., Wafer carrier.
  19. Nyseth David L., Wafer carrier with door.
  20. Wu Tzong-Ming,TWX ; Huang Gwo-Jou,TWX, Wafer retaining mechanism.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Chu, Xinsheng; Kang, Ming-Du, Cassette optimized for an inline annealing system.
  2. Chae, Yongkee; Fu, Jianming, Chemical vapor deposition tool and process for fabrication of photovoltaic structures.
  3. Stewart, III, Kenneth G., Device for implement storage.
  4. Stewart, III, Kenneth G., Device for implement storage.
  5. Boom Coburn, Melissa; Lewin, Jeffrey; Spaeth, Ken; Woehrman, Tom; LaPorte, Shari; Griffin, R. Steven; Stasieluk, John, Ergonomic substrate container.
  6. Chiu, Ming-Chien; Lu, Pao-Yi; Hung, Kuo Chun, FOUP and robotic flange thereof.
  7. Burns,John; Fuller,Matthew A.; King,Jeffery J.; Forbes,Martin L.; Smith,Mark V.; Zabka,Michael, Substrate carrier.
  8. Yamagishi, Hiroki; Fujimori, Yoshiaki, Substrate container and handle thereof.
  9. Zajac, Piotr, System and method for curing conductive paste using induction heating.
  10. Sung, Edward; Zu-Yi Liu, James, Systems, method and apparatus for curing conductive paste.
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