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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0677867 (2003-10-02) |
§371/§102 date | 20010913 (20010913) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 9 |
A transport system within a fabrication system. The fabrication system contains a plurality of tool bays, each of which has a plurality of processing tools for processing articles. The transport system contains a plurality of intrabay transport subsystems, an interbay transport subsystem, a pluralit
1. A fabrication system, comprising:a plurality of tool bays, each of which comprises a plurality of processing tools for processing articles; and a transport system, linking the processing tools for transporting the articles, including: a plurality of intrabay transport subsystems, each of which is
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