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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0944864 (2004-09-21) |
우선권정보 | JP-0199345 (2001-06-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 11 |
This invention is to appropriately separate a bonded substrate stack regardless of some distortion in the bonded substrate stack or the like. This separating apparatus includes a first nozzle which forms a jet with a large width and a second nozzle which forms a jet with a small width. When the oute
1. An apparatus for separating a member, which has a separation layer inside using a jet, comprising:a holding portion for holding a member; and a plurality of ejecting mechanisms for forming jets, which apply a pressure to the separation layer of the member held by said holding portion, wherein the
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