[특허]Method of creating shielded structures to protect semiconductor devices

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[미국특허] Method of creating shielded structures to protect semiconductor devices 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/31
출원번호	US-0637240 (2003-08-07)
발명자 / 주소	Fraser, David Doyle, Brian
출원인 / 주소	Intel Corporation
대리인 / 주소	Blakely, Sokoloff, Taylor &
인용정보	피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 11

초록 ▼

An apparatus on a wafer, comprising: a first metal layer of a wall, a second metal layer of the wall, a third metal layer of the wall comprising: one or more base frames, a fourth metal layer of the wall comprising: one or more vertical frame pairs each on top of the one or more base frames and having a pass-thru therein, a fifth metal layer of the wall comprising: one or more top frames each over the pass-thru; and a metal lid.

대표청구항 ▼

1. A method comprising:forming a metal cage by depositing an at least one insulating layer; patterning the at least one insulating layer; depositing a first metal layer over the at least one patterned insulating layer; and patterning the at least one metal layer such that an at least one vertical metal wall is formed that encloses an at least one semiconductor device on a monocrystalline silicon substrate. 2. The method of claim 1 further comprising forming a second semiconductor device positioned outside and adjacent to the metal cage.3. The method of claim 1, wherein the at least one semiconductor device, positioned within the metal cage, has at least one set of input/output leads that pass through the metal cage at insulated locations.4. The method of claim 1 further comprising depositing a second metal layer over the first metal layer.5. The method of claim 4, wherein the first metal layer forms interconnected circuitry and the second metal layer forms filled vias.6. The method of claim 1, further comprising forming a lid on the metal cage.7. The method of claim 6, further comprising patterning the lid to form an interconnect circuit.

이 특허에 인용된 특허 (11) 인용/피인용 타임라인 분석

Scherer Jeremy D. (South Dartmouth MA), All metal flat package.
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Muyshondt Jorge E. (Austin TX) Parker Gary A. (Round Rock TX) Wilkie Bruce J. (Georgetown TX), Faraday cage for a printed circuit card.
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Castagnetti Ruggero ; Liu Yauh-Ching ; Ramesh Subramanian, Integrated circuit having embedded memory with electromagnetic shield.
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King David Robert ; Reis Bradley E. ; Rowan Joseph C., Lid assembly for shielding electronic components from EMI/RFI interferences.
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Vrijheid Johan E. W.,NLX, MRI apparatus with a feedthrough unit provided in the wall of a Faraday cage.
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Fraser, David; Doyle, Brian, Method of creating shielded structures to protect semiconductor devices.
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Tilmans Hendrikus A. C.,NLX ; Beyne Eric,BEX ; Van de Peer Myriam,BEX, Method of fabrication of a microstructure having an internal cavity.
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Ma Manny K. F., Method of making a structure for providing signal isolation and decoupling in an integrated circuit device.
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Hierold Christofer,DEX ; Scheiter Thomas,DEX ; Biebl Markus,DEX ; Klose Helmut,DEX, Micromechanical semiconductor component and manufacturing method therefor.
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Poplawski, Daniel S.; Gilliland, Patrick B.; McGinley, James W., Removable transceiver module.
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Cadien Kenneth C. (Portland OR) Feller Daniel A. (Portland OR), Slurries for chemical mechanical polishing.
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이 특허를 인용한 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

Fellenstein, Craig W.; Hamilton, Rick A., Blocking television commercials and providing an archive interrogation program.
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Fellenstein, Craig William; Hamilton, II, Rick Allen, Blocking television commercials and providing an archive interrogation program.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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