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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0406711 (2003-04-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 5 |
A design for chuck rollers and a design for chuck pins for a wafer cleaning and drying system is disclosed. Each of the chuck rollers includes a roller head which ensures proper engagement of a wafer with the chuck rollers for rotation of the wafer during a wafer scrubbing process. Each of the chuck
1. A chuck roller for a wafer scrubbing assembly, comprising:a roller body; a wafer notch provided in said roller body; and a roller head provided in said roller body adjacent to said wafer notch, said roller head has a head thickness at least as great as a notch width of said wafer notch. 2. The ch
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