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Intelligent control for process optimization and parts maintenance 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06E-001/00
  • G06E-003/00
  • G06F-015/18
  • G06G-007/00
출원번호 US-0656607 (2003-09-05)
발명자 / 주소
  • Card, Jill P.
  • Chan, Wai T.
  • Cao, An
출원인 / 주소
  • Ibex Process Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Goodwin Procter LLP
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 14

초록

Complex process control and maintenance are performed utilizing a nonlinear regression analysis to determine optimal maintenance activities and process adjustments based on an urgency metric.

대표청구항

1. A computer-implemented method of controlling the optimization of a complex process having associated operational variables and process outputs, the method comprising the steps of:defining a series of corrective actions associated with the process; modeling a relationship between the operational v

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Frye Robert C. (Piscataway NJ) Harry Thomas R. (Trenton NJ) Lory Earl R. (Pennington NJ) Rietman Edward A. (Madison NJ), Active neural network control of wafer attributes in a plasma etch process.
  2. Klimasauskas Casimir C., Analyzer for modeling and optimizing maintenance operations.
  3. Elazouni Ashraf M. (1 ; Farakha St. Elmontaza ; Zagazig EGX), Discrete-event simulation-based method for staffing highway maintenance crews.
  4. Wojsznis, Wilhelm K.; Blevins, Terrence L.; Seeman, Richard C.; Nixon, Mark J., Integrated optimal model predictive control in a process control system.
  5. Martin, Gregory D.; McGarel, Steven J., Kiln/cooler control and upset recovery using a combination of model predictive control and expert systems.
  6. George Michael L. (Dallas TX) Sherman Mark A. (Richardson TX), Method and apparatus for improving manufacturing processes.
  7. Reitman Edward A. (Madison NJ) Ibbotson Dale E. (Bridgewater NJ) Lee Tseng-Chung (New York NY), Method and apparatus for real time monitoring of wafer attributes in a plasma etch process.
  8. Evans, Jerry William; Mehta, Paul P.; Ludwig, Arthur L., Method and system for estimating manufacturing costs.
  9. Pflugl, Horst; Riel, Andreas; Gschweitl, Kurt, Model based on-line optimization method.
  10. Iino Yutaka (Kawasaki JPX) Ohya Junko (Kawasaki JPX), Model predictive control apparatus.
  11. Wassick John M. ; McCroskey Patrick S. ; McDonough John J. ; Steckler David K., Model predictive controller.
  12. Putman Richard E. (Penn Hills PA), Multiplane optimization method and apparatus for cogeneration of steam and power.
  13. Angell David ; Burns Stuart M. ; Kocon Waldemar W. ; Passow Michael L., Reactive ion etch loading measurement technique.
  14. Keeler James D. (Austin TX) Hartman Eric J. (Austin TX) Liano Kadir (Austin TX) Ferguson Ralph B. (Austin TX), Residual activation neural network.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Molnar, Charles J., Advanced finishing control.
  2. Molnar, Charles J., Advanced finishing control.
  3. Molnar, Charles J., Advanced finishing control.
  4. Molnar,Charles J., Advanced finishing control.
  5. Molnar, Charles J., Advanced workpiece finishing.
  6. Molnar, Charles J., Advanced workpiece finishing.
  7. Inani,Anand; Stine,Brian E.; Liao,Marci Yi Ting; Arthanari,Senthil; Williamson,Michael V.; Graves,Spencer B.; Yu,Guanyuan M., Identifying yield-relevant process parameters in integrated circuit device fabrication processes.
  8. Haaks, Stefan; Michaelis, Gerd; Wegner, Christian Marius, Method and device for identifying the cause of failures in industrial processes.
  9. Fong, Kien Hoong; Fu, Wei; Shi, Jun, Method of process trend matching for identification of process variable.
  10. Pop, Mihai G. M.; Griffith, John Carroll; Colgan, Kent, Method to analyze economics of asset management solutions for nuclear steam generators.
  11. Pop, Mihai G. M.; Griffith, John Carroll; Colgan, Kent, Method to analyze economics of asset management solutions for nuclear steam generators.
  12. Pannese, Patrick D.; Kavathekar, Vinaya; van der Meulen, Peter, Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process.
  13. Fuller,James W., Model predictive controller with life extending control.
  14. Ogunnaike,Babatunde A.; Mukati,Kapil, Predictive regulatory controller.
  15. Ogunnaike,Babatunde A.; Mukati,Kapil, Predictive regulatory controller.
  16. Reeve,Michael; Grice,Jean Paule Mongeau, Quality analysis including cumulative deviation determination.
  17. Molnar, Charles J., Versatile workpiece refining.
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