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특허 상세정보

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Method and apparatus for damping vibrations in a semiconductor wafer handling arm

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F16M-013/60    B21D-039/03   
미국특허분류(USC) 074/490.01; 267/137; 188/380; 414/935; 029/428
출원번호 US-0854867 (2004-05-27)
발명자 / 주소
  • Tan, Mark
출원인 / 주소
  • Novellus Systems, Inc.
대리인 / 주소
    DeLio &
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 9
초록
▼

A method of damping a semiconductor wafer handling arm by attaching a spring and a mass coupled to the spring to form a mass spring system that is tuned to vibrate at a structural resonant frequency of the vibrating wafer handling arm. The spring has temperature insensitive spring characteristics and the mass and spring are constructed of materials that do not outgas or produce contaminants in a semiconductor processing environment. The mass spring system is preferably a cantilever beam spring connected to a high response point on the vibrating arm and o...

대표
청구항
▼

1. A method of damping vibrations in a wafer handling arm for handling a semiconductor wafer, the wafer handling arm defining a plane and the method comprising the steps of:constructing a cantilever beam spring of a contaminant-free material suitable for use in a low-contaminant semiconductor wafer processing environment;constructing a mass of a contaminant-free material suitable for use in a low-contaminant semiconductor wafer processing environment;positioning the mass on the cantilever beam spring to form a mass spring system having a desired vibratio...

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Yokoshima Norio (Tokyo JPX) Nagai Masahide (Tokyo JPX) Shimada Akira (Tokyo JPX), Damper device for precision assembling robot.
  2. Nylander, Mick A.; Grabaum, Gary D., Dynamic damper.
  3. Jaenker Peter,DEX ; Strehlow Henning,DEX, Mechanical resonator having a variable resonance frequency.
  4. Kucera Richard J. (11041 Firethorne Dr. Cupertino CA 95014), Pipe vibration reducer.
  5. Keith R. Ptak, Pivoting vibration absorber including a torsional spring and pipeline system utilizing same.
  6. Joe, Raymond; Dip, Anthony, Removable semiconductor wafer susceptor.
  7. Fischbeck Kenneth H. (Dallas TX) Wright Allen T. (Lewisville TX), Suspension for an oscillating bar.
  8. Misaji, Kazuhito; Okamura, Kengo; Kuruhara, Yuji; Sunami, Keiichi; Yamashita, Tsuyoshi; Maejima, Akihiro; Noguchi, Yoshihiro; Nirei, Toru; Kato, Rentaro; Hasegawa, Koichi, Vibration damper.
  9. McGowan, Richard, Wafer management system and methods for managing wafers.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Meulen, Peter van der, Linear semiconductor processing facilities.
  2. van der Meulen, Peter, Linear semiconductor processing facilities.
  3. Tan, Mark K.; Kopec, Nicholas M.; Blank, Richard M., Mass damper for semiconductor wafer handling end effector.
  4. van der Meulen, Peter, Mid-entry load lock for semiconductor handling system.
  5. van der Meulen, Peter, Semiconductor manufacturing systems.
  6. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling and transport.
  7. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C.; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling transport.

IPC 상위 출원인