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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0453006 (2003-06-03) |
우선권정보 | KR-0035604 (2002-06-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 10 |
Disclosed is a raw material-providing device for a chemical-vapor deposition process and includes: a bubbler for vaporizing liquid raw material and providing the vaporized raw material to a deposition unit; and a raw material tank for providing liquid raw material to the bubbler, wherein the raw mat
1. A device for providing a raw material used in a chemical-vapor deposition process, the device comprising:a bubbler for vaporizing a liquid raw material and providing the vaporized liquid raw material to a deposition unit; anda tank for preheating the liquid raw material for a subsequent delivery
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