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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0438512 (2003-05-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 14 |
A MEMS module is provided comprising at least one MEMS device adhesively bonded to a substrate or wafer, such as a CMOS die, carrying pre-processed electronic circuitry. The at least one MEMS device, which may comprise a sensor or an actuator, may thus be integrated with related control, readout/sig
1. A MEMS module comprising:at least one MEMS device including a movable element;a substrate having a surface carrying electronic circuitry, the at least one MEMS device overlying at least a portion of the electronic circuitry;an organic adhesive bond joining the at least one MEMS device and the cir
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