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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0781555 (2004-02-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 13 |
An acoustic transducer comprising a substrate; and a diaphragm formed by depositing a micromachined membrane onto the substrate. The diaphragm is formed as a single silicon chip using a CMOS MEMS (microelectromechanical systems) semiconductor fabrication process. The curling of the diaphragm during
What is claimed is: 1. An acoustic transducer, comprising: a substrate; a micromachined mesh fabricated on said substrate; a layer of material sealing said mesh to form a flexible diaphragm; and electronics connected to said diaphragm. 2. The transducer of claim 1 wherein said micromachined mesh
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