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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0288974 (2002-11-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 10 |
Methods and compositions are disclosed for modifying a semiconductor interconnect layer to reduce migration problems while minimizing resistance increases induced by the modifications. One method features creating trenches in the interconnect layer and filling these trenches with compositions that a
What is claimed is: 1. A method for constructing an electrical interconnect having enhanced mechanical properties on a semiconductor substrate, comprising: formation of a first recess in an electrically-insulating material; deposition of a first electrically-conductive material in the first recess
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