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Integrated package design and method for a radiation sensing device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/44
  • H01L-021/02
출원번호 US-0688708 (2003-10-17)
발명자 / 주소
  • Kennedy,Adam M.
  • Bailey,Michael
  • Meissner,Edward
  • Dodds,Robert K.
  • VanLue,David
출원인 / 주소
  • Raytheon Company
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 15

초록

A radiation detector (10) has a base (30), a frame (48), a window (46), and solder layers (50, 52) formed from a solder pre-form (58, 60) to define a vacuum chamber (56). Feedthroughs (18, 40, 44) penetrate the base ( 30) for electrical connection to internal components. A method for sealing the det

대표청구항

What is claimed is: 1. A method of making a radiation detector comprising: assembling a lower detector assembly; enclosing the lower detector assembly, a window, and a first solder entity within a processing chamber such that the window is spaced from the lower detector assembly; reducing pressure

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Kennedy Adam M. ; Romano Timothy S. ; McCabe Steven M. ; Cobb Larry E., Getter assembly having porous metallic support and its use in a vacuum apparatus.
  2. Robert Joseph Stephen Kyle, Hermetic cold weld seal.
  3. Komatsu Kiyoshi (Ashigarakami JPX) Mori Takehisa (Ashigarakami JPX) Sone Atsushi (Ashigarakami JPX) Kimura Mitsuteru (Miyagi JPX), Infrared sensor and method for production thereof.
  4. Komatsu Kiyoshi (Ashigarakami JPX) Mori Takehisa (Ashigarakami JPX) Sone Atsushi (Ashigarakami JPX) Kimura Mitsuteru (Miyagi JPX), Infrared sensor and method for production thereof.
  5. Jack Michael D. ; Ray Michael ; Wyles Richard H., Integrated IR, visible and NIR sensor and methods of fabricating same.
  6. Meissner Edward G., Integrated circuit package having a thermoelectric cooling element therein.
  7. Kennedy Adam M. ; Jack Michael D., Integrated multiple sensor package.
  8. Higashi Robert E. ; Ridley Jeffrey A. ; Stratton Thomas G. ; Wood R. Andrew, Integrated silicon vacuum micropackage for infrared devices.
  9. Cunningham Brian T. (Stowe MA) Patel Bharat I. (Nashua NH), Microbolometer.
  10. Cunningham Brian T. (Watertown MA) Richard Patricia V. (North Billerica MA), Microstructure and method of making such structure.
  11. Zahuta Robert E. (Lompoc CA) Peck ; Jr. Leonard E. (Goleta CA), Processing of vacuum-sealed dewar assembly.
  12. Patel Monesh S. ; Papazacharioudakis George K. ; Bailey Steven L., Sensor/cooling system with cold finger having recessed end.
  13. Meissner Edward G. ; Hanson Charles M., Thermal detector and method.
  14. Roland W. Gooch, Vacuum package fabrication of microelectromechanical system devices with integrated circuit components.
  15. Kennedy Adam M. ; Sarver Charles E. ; Williams Ronald L., Vacuum package having vacuum-deposited local getter and its preparation.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Ishida, Masaya; Ogawa, Atsushi; Hanaoka, Daisuke, Method for manufacturing laser devices.
  2. Gektin,Vadim; Malladi,Deviprasad, Package lid or heat spreader for microprocessor packages.
  3. Carlson, Gregory A.; Matson, Alex; Sharpe, Andrew; Beard, Davey; Schweikert, Paul; Simes, Robert, Wafer level packaging of infrared camera detectors.
  4. Carlson, Gregory A.; Matson, Alex; Sharpe, Andrew; Beard, Davey; Schweikert, Paul; Simes, Robert, Wafer level packaging of infrared camera detectors.
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