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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0921107 (2004-08-19) |
우선권정보 | JP-2003-301159(2003-08-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 7 |
A gate valve includes a valve main body having a gate valve body attached to a valve rod; a movement operation mechanism that moves the valve rod in a direction along an axis of the rod up to a position where the gate valve body stops up a flow passage port used for carrying in and out objects; a ro
What is claimed is: 1. A non-rubbing gate valve for a semiconductor fabrication apparatus, said gate valve comprising: a valve main body having a gate valve body attached to a valve rod; a movement operation mechanism that moves the valve rod in a direction along an axis of the rod up to a first po
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