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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | F16C-033/74 F16C-033/72 F16J-015/40 |
미국특허분류(USC) | 277/431; 277/914; 384/015; 384/132 |
출원번호 | US-0278020 (2002-10-23) |
우선권정보 | JP-2001-326738(2001-10-24); JP-2002-241878(2002-08-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 13 |
A differential pumping seal apparatus includes a differential pumping seal for sealing a first space and a second space from each other in a non-contact manner, and a back up seal mechanism for sealing the first space and the second space from each other in a contact manner. The back up seal mechanism is operated to seal the first space and the second space from each other only when the differential pumping seal is stopped or while operation of said differential pumping seal is stopped.
What is claimed is: 1. A differential pumping seal apparatus for use in a semiconductor fabrication apparatus, said apparatus comprising: a hydrostatic bearing comprising a working fluid supply source; a differential pumping seal for sealing a first space and a second space from each other in a non-contact manner so as to prevent fluid communication between the first space and the second space, a pressure of the first space being lower than a pressure of the second space; wherein during operation of said differential pumping seal, said working fluid sup...