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Differential pumping seal apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16C-033/74
  • F16C-033/72
  • F16J-015/40
출원번호 US-0278020 (2002-10-23)
우선권정보 JP-2001-326738(2001-10-24); JP-2002-241878(2002-08-22)
발명자 / 주소
  • Shinozaki,Hiroyuki
출원인 / 주소
  • Ebara Corporation
대리인 / 주소
    Westerman, Hattori, Daniels &
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 13

초록

A differential pumping seal apparatus includes a differential pumping seal for sealing a first space and a second space from each other in a non-contact manner, and a back up seal mechanism for sealing the first space and the second space from each other in a contact manner. The back up seal mechani

대표청구항

What is claimed is: 1. A differential pumping seal apparatus for use in a semiconductor fabrication apparatus, said apparatus comprising: a hydrostatic bearing comprising a working fluid supply source; a differential pumping seal for sealing a first space and a second space from each other in a non

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Sogard Michael R. ; Spicer Denis F.,GBX, Air bearing operable in a vacuum region.
  2. Booth ; Rex, Air bearing vacuum seal assembly.
  3. Ise Yoji (Tokyo JPX) Kato Minoru (Tokyo JPX) Tachikawa Keiichi (Tokyo JPX), Air sliding device for work pallets or the like.
  4. Furukawa Motomu (Kawasaki JPX), Driving mechanism with gas bearing.
  5. Lewis ; Jr. George C. (Sudbury MA) Vanslette Robert A. (Medfield MA), Electron beam lithographic apparatus.
  6. Michael R. Sogard, Fluid bearing operable in a vacuum region.
  7. Lyon Gregory S., Hydrostatic bearing and fluid collection system.
  8. Katsuhito Nishikawa ; Thomas F. Carlos, Particulate free air bearing and seal.
  9. Von Bergen Ernst-Peter (Ahlefeld DEX) Pietsch Gnter (Hamburg DEX), Sealing apparatus for rotating shafts, in particular stern tube seal for the propeller shafts of a ship.
  10. Hattori Hisashi (Tama JPX) Iwata Teruo (Nirasaki JPX) Sekizuka Hiroshi (Oome JPX) Kawauchi Yoichi (Ageo JPX) Fujisawa Hisao (Nakaminato JPX), Sealing device.
  11. Goldswain, Ian Martyn, Seals.
  12. Friedrich Jaromir (Edmonton CA), Secondary sealing device.
  13. Fox ; deceased Wayne L. (5640 Cold Water Dr. late of Castro Valley CA) Fox ; executrix by Rosemary M. (5640 Cold Water Dr. Castro Valley CA 94546), Vacuum-sealed gas-bearing assembly.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Mitchell, Robert J.; Babayan, Elaina Noelle, Floating high vacuum seal cartridge.
  2. Tada, Atsushi; Sagara, Makoto; Tsukiji, Teruaki; Arai, Takao; Takeuchi, Kazuhiro; Tsunoda, Shun; Inatsu, Masato; Ishii, Yusuke; Tanaka, Yuya, Guide mechanism of machine tool and machine tool.
  3. Tada, Atsushi; Sagara, Makoto; Tsukiji, Teruaki; Arai, Takao, Hydrostatic pressure guide mechanism and machine tool.
  4. Stephens, Philip John; Stones, Ian David; Gray, Malcolm William; Neller, Paul David, Pump.
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