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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0145909 (2005-06-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 20 인용 특허 : 29 |
An apparatus and method for force sensing device having a pendulous mechanism proof mass formed in a silicon semiconductor substrate and structured for rotation about an intermediate rotational axis, the proof mass being substantially rectangular in shape with opposing first and second lateral perip
What is claimed is: 1. A force sensing device, comprising: a pendulous mechanism proof mass formed in a silicon semiconductor substrate, the proof mass being substantially rectangular in shape with opposing first and second lateral peripheral edges and opposing first and second endwise peripheral e
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