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연합인증

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Wafer carrier checker and method of using same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B24B-049/00
출원번호 US-0121367 (2005-05-04)
발명자 / 주소
  • Kundracik,Michael John
출원인 / 주소
  • Micrel, Incorporated
대리인 / 주소
    Dorsey & Whitney LLP
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 5

초록

A tool and method for assessing whether a disk carrier, and especially a carrier for holding semiconductor disks, is properly dimensioned. The tool has a body that includes a socket in which a portion of the disk carrier will seat fully if the disk carrier is properly dimensioned. Alignment structur

대표청구항

I claim: 1. An apparatus for use with a disk carrier provided with spaced-apart first and second side walls with respective first and second end portions spaced apart by a distance and defining an opening and having respective slots for receiving and stacking a plurality of semiconductor wafers wit

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Goff Gerald L. (Austin TX) Smith Michael D. (Austin TX) Conboy Michael R. (Buda TX), Boat test apparatus.
  2. Rochet Andre,FRX ; DeCamps Pascal,FRX, Device for controlling semiconductor wafer transport cassettes.
  3. Cortum, John David; Mathiasmeier, Michael Jaye; Stoecker, Louis William, Method and apparatus for casting molten materials using phase-change material.
  4. Jansen, Keith Michael; Jansen, Kris Martin, Method and apparatus for pressurizing gas.
  5. Hsu Hwa-Ching,TWX ; Chen Wan-Lai,TWX ; Chen Yi-Hsin,TWX, Tweezer position checker.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Mishiro, Hitoshi; Nakamura, Atsushi, Method and apparatus for measuring shape of heat treatment jig.
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