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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0943026 (2004-09-17) |
우선권정보 | JP-11-339556(1999-11-30); JP-11-339557(1999-11-30); JP-11-339558(1999-11-30); JP-11-339559(1999-11-30); JP-11-339560(1999-11-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 18 |
The invention provides a laser etching method for optical ablation working by irradiating a work article formed of an inorganic material with a laser light from a laser oscillator capable of emitting in succession light pulses of a large energy density in space and time with a pulse radiation time n
What is claimed is: 1. A laser etching method for optical ablation working by irradiating a work article formed by an inorganic material with a femtosecond laser light emitted in successive trains of light pulses, the laser etching method comprising: an etching step of laser etching the work articl
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