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Diaphragm valve for atomic layer deposition 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-007/12
출원번호 US-0278482 (2006-04-03)
발명자 / 주소
  • Maula,Jarmo Ilmari
  • Leskinen,Hannu
  • Lang,Teemu
  • Kuosmanen,Pekka
  • H？rk？nen,Kari
  • Aitchison,Bradley J.
출원인 / 주소
  • Planar Systems, Inc.
대리인 / 주소
    Stoel Rives LLP
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 38

초록

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대표청구항

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이 특허에 인용된 특허 (38)

  1. Walsh John T. (Duluth GA) Hubbard Timothy M. (Canton GA) Osinaiya Taiwo T. (Stone Mountain GA), Apparatus for dispensing heated fluid materials.
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  2. Van Wijck, Margreet Albertine Anne-Marie, Atomic layer deposition.
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  3. Mertens Klaus (Hemsbach DEX) Sausner Andreas (Frankfurt DEX), Control valve with pressure equalization.
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  4. Weingarten Zvi (Kibbutz Evron ILX), Diaphragm control valve.
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  5. Butler Ronald G., Diaphragm valve.
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  6. Holtermann Ludwig K. (Old Saybrook CT), Diaphragm valve.
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  7. Yamaji Michio,JPX ; Yoshikawa Kazuhiro,JPX ; Itoi Shigeru,JPX, Diaphragm valve.
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  8. Yoshikawa Kazuhiro (Osaka JPX) Kojima Tetsuya (Osaka JPX), Diaphragm valve.
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  9. Yoshikawa Kazuhiro,JPX ; Kojima Tetsuya,JPX, Diaphragm valve.
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  10. Maula, Jarmo Ilmari; Leskinen, Hannu; Lang, Teemu; Kuosmanen, Pekka; H?rk?nen, Kari; Aitchison, Bradley J., Diaphragm valve for high-temperature precursor supply in atomic layer deposition.
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  11. Gotch James E. ; Kitchen Dale J. ; Longo Maria T. ; Rasanow Victor N. ; Smith Philip J., Diaphragm valve seat arrangement.
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  12. Maula,Jarmo Ilmari; Leskinen,Hannu; Lang,Teemu; Kuosmanen,Pekka; H채rk철nen,Kari; Aitchison,Bradley J., Diaphragm valve with reliability enhancements for atomic layer deposition.
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  13. Otsuki Hiromi (Anjo JPX) Kondo Takashi (Toyota JPX) Kondo Yoshiaki (Kariya JPX) Obata Haruyuki (Susono JPX) Tate Takao (Susono JPX) Ishikawa Norikatu (Mishima JPX), Electromagnetic reed valve.
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  14. Goossens, Andre F. L., Electromagnetic valve.
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  15. Tadahiro Ohmi JP; Migaku Takahashi JP; Michio Yamaji JP; Tsuyoshi Tanikawa JP; Nobukazu Ikeda JP; Ryosuke Dohi JP; Kouji Nishino JP; Naofumi Yasumoto JP; Hiroyuki Fukuda JP; Tomio Uno JP; Y, Fluid control valve and fluid supply/exhaust system.
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  16. Rothermel William F., Fluid transport circuit and valve structure therefor.
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  17. Arstein Dale C. (Elk River MN) Rensberger Lee R. (Monticello MN), Gas valve.
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  18. Maula, Jarmo Ilmari; Leskinen, Hannu; Lang, Teemu; Kuosmanen, Pekka; H?rk?nen, Kari; Aitchison, Bradley J., High-speed diaphragm valve for atomic layer deposition.
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  19. Mamyo, Mitsuru, High-temperature gas control valve.
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  20. Ogawa Shuhei,JPX ; Yoshikawa Kazuhiro,JPX, Metal diaphragm type valve.
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  21. Hanyu Takaomi (Yamato JPX) Tada Kouki (Yokohama JPX), Metal diaphragm valve.
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  22. Kimura Miyoshi (Yabutsukahonmachi JPX), Metal diaphragm valve.
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  23. Watson James L. ; Watson John M. ; White Robert L. ; Ferree William P., Metal element having a laminated coating.
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  24. Nishizato, Hiroshi; Miyamoto, Hideaki, Method and an apparatus for mixing and gasifying a reactant gas-liquid mixture.
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  25. Schmitt John ; Zheng Bo ; Chang Mei ; Voss Stephen, Method and apparatus for improved control of process and purge material in substrate processing system.
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  26. Nishizawa Jun-ichi (Sendai JPX) Kasai Shinzo (Sendai JPX) Okada Tetsuo (Sendai JPX) Dohzono Mitsuhiko (Izumi JPX), Micro flow control valve.
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  27. Wade Richard A. (Royal Oak MI), Solenoid operated pressure regulating valve.
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  28. Gilchrist Jon P. (South Bend IN) Klebusch William C. (Nashua NH), Solenoid valve.
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  29. Taggart Thomas D. (Pacific Grove CA) Taggart Robert E. (Carmel CA), Solenoid valve for hot melt material.
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  30. Moldenhauer Hermann (Dsseldorf DEX), Solenoid valve, especially an outlet valve for infusion water.
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  31. Nishimura Ryutaro (Osaka JPX) Yamaji Michio (Osaka JPX) Yamamoto Kenji (Osaka JPX), Structure for sealing an inner peripheral portion of a metallic diaphragm.
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  32. Fargo Richard N. (Newington CT), Three-way solenoid valve.
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  33. Ellis Craig D. ; Chambers Kenith W. ; McCormick Scott ; DeRidder Steven D. ; Carruth W. Layne ; Schulte Stephen R., Valve assembly.
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  34. Ollivier Louis A., Valve having metal-to metal dynamic seating for controlling the flow of gas for making semiconductors.
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  35. Ono Hirofumi,JPX, Valve structure for use in a vaporizer.
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  36. Turnwald Ernst (Altenmarkt DEX) Asztalos Stefan (Munich DEX) Rosenmeier Rudolf (Munich DEX), Valves and operating system for expansion machines.
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  37. Suzuki Hidenao,JPX ; Horie Kuniaki,JPX ; Tsukamoto Kiwamu,JPX ; Araki Yuji,JPX, Valving device.
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  38. Miyamoto Hideaki (Miyanohigashi-machi JPX) Ishikawa Kohichi (Miyanohigashi-machi JPX) Kawano Takeshi (Miyanohigashi-machi JPX), Vapor controller.
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이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Warren, Peter John; Winterbottom, Stephen, Diaphragm for a valve.
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  2. Gerber, Vaughn, Electronic coolant valve with flexible seal.
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  3. Schuessler, Michael; Gaertner, Oliver, Throttle disk of a hydraulic assembly of a vehicle brake system.
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