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Thin thickness measurement method and apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-011/06
출원번호 US-0018631 (2004-12-21)
발명자 / 주소
  • Jasinski,W. Ted
  • Haran,Frank M.
출원인 / 주소
  • Honeywell International Inc.
대리인 / 주소
    Munck Butrus, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 33

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (33)

  1. Chen, Kai; Nakamura, Shizuo; Minamitsu, Akihito, Apparatus for measuring the thickness of a thin film having eddy current coil sensor.
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  2. Concannon David J. (Farmington Hills MI) Copenhaver Gary B. (Canton MI) Catchpole Clive E. (Birmingham MI), Arrangement for aligning, focusing and normalizing imaging system.
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  3. Rydningen Toni,NOX, Arrangement for optic measuring of both width and thickness of an object moving along a straight path.
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  4. Plummer William T. (Concord MA), CCD scanning apparatus for use with rotary head printer.
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  5. Bodlaj ; Viktor, Contact-free thickness measuring method and device.
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  6. Jiang, Zhiping; Li, Ming; Zhang, Xi-Cheng, Differential time domain spectroscopy method for measuring thin film dielectric properties.
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  7. Kenneth H. Heffner, Diffuse reflectance method and apparatus for determining thickness of an infrared translucent layer.
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  8. Yang, Feng, Film thickness measurements using light absorption.
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  9. Krmer Werner (Unterlindelbach DEX), Gauge for measuring the thickness of an unsupported web.
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  10. Grann Eric B. ; Holcomb David E., High-speed non-contact measuring apparatus for gauging the thickness of moving sheet material.
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  11. Dunton, Randy R.; Charlesworth, Thomas M.; Richardson, John W.; Silvester, Kelan C.; Shimoda, Marion H., Input device using scanning sensors.
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  12. Yang Baorui ; Pierrat Christophe, Inspection method and apparatus for detecting defects on photomasks.
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  13. Ostermayer Volker (Greenville SC) Fleischer Thomas B. (Pelzer SC) Duquette Gilles F. (Roswell GA), Laser apparatus and method for monitoring the de-watering of stock on papermaking machines.
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  14. Bowles, Dennis Lee, Laser non-contact thickness measurement system.
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  15. Taylor Bruce F. (Worthington OH), Laser-based measurement apparatus and method for the on-line measurement of multiple corrugated board characteristics.
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  16. David Scheiner IL; Vladimir Machavariani IL, Method and apparatus for measurements of patterned structures.
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  17. Chen, Pu Fang; Lee, Tung Li; Perng, Bing Huei; Leu, Chao Po, Method and apparatus for measuring thickness of a thin oxide layer.
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  18. Chase Lee ; Goss John ; Alguard Mark ; Axelrod Steve ; Herzlinger Peter ; Anderson Len ; King Harriss, Method and apparatus for optical alignment of a measuring head in an X-Y plane.
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  19. Amara, Mohamed Kamel; Melikechi, Noureddine; Mian, Sabbir M., Method and apparatus for simultaneous measurement of the refractive index and thickness of thin films.
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  20. Holmgren William A. (Colorado Springs CO) Hasling John S. (Colorado Springs CO) Denny Richard W. (Colorado Springs CO), Non-contact distance measurement system.
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  21. Watts Kenneth J., Non-contact measuring device.
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  22. Lorenz Robert D. (Madison WI), Optical measuring apparatus and method.
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  23. Katsuya Tomiyama JP; Junichi Ochiai JP, Paper feeder.
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  24. Makkonen Tapio (Ouritie 4 ; SF-02780 Espoo FIX), Procedure and means for measuring the thickness of a film-like or sheet-like web.
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  25. Watson Robert M. (Pataskala OH), Sensor position independent material property determination using radiant energy.
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  26. Fumjo Tojyo JP; Shunzo Hirakawa JP, Sheet thickness and swell measurement method and apparatus therefor.
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  27. Almogy, Gilad; Reches, Oren, Spot grid array imaging system.
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  28. Poris, Jaime, Substrate surface profile and stress measurement.
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  29. Watanabe Tetsuya (Honjo JPX) Morishige Yoshio (Honjo JPX) Nakamura Hisato (Saitama-ken JPX), Surface inspection method and apparatus.
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  30. Tominaga Tamotsu,JPX ; Nogami Masaru,JPX ; Hirokawa Satoshi,JPX, Thickness measuring apparatus using light from slit.
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  31. Opsal, Jon; Fanton, Jeffrey T.; Uhrich, Craig, Thin film optical measurement system and method with calibrating ellipsometer.
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  32. King Harriss T. ; Haefner Peter, Web thickness measurement system.
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  33. Petersson, Sture; Linnros, Jan; Fröjdh, Christer, X-ray pixel detector device and fabrication method.
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이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Shakespeare, Tarja T.; Shakespeare, John F., Apparatus and method for camera-based color measurements.
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  2. Shakespeare, Tarja T.; Shakespeare, John F., Apparatus and method for measuring and/or controlling ultraviolet-activated materials in a paper-making process.
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  3. Shakespeare, John F.; Shakespeare, Tarja T.; Kellomäki, Markku, Apparatus and method for measuring properties of unstabilized moving sheets.
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  4. Savard, Stephane; Krolak, Adam, Caliper coating measurement on continuous non-uniform web using THz sensor.
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  5. Hughes, Michael Kon Yew; Tixier, Sebastien, Increased absorption-measurement accuracy through windowing of photon-transit times to account for scattering in continuous webs and powders.
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  6. Arabi, Michael, Laser caliper measurement of paper material.
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  7. Baker, Derrick, Laser gauge with full air gap measurement range.
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  8. Cook, Scott A.; Bertin, Michael C.; Baker, Derrick, Laser thickness gauge and method including passline angle correction.
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  9. Auzinger, Michael; Denkmeier, Thomas; Haselboeck, Alfred, Measurement device and measurement method for measuring the thickness of a panel-shaped object.
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  10. Kuo, Shih-Hsuan; Wang, Wei-Cheng, Measuring method for topography of moving specimen and a measuring apparatus thereof.
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  11. Duck, Graham I.; Hughes, Michael K. Y., Optical translation of triangulation position measurement.
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  12. Zimdars, David; White, Jeffrey S.; Williamson, Steven; Duling, Irl, System for determining at least one property of a sheet dielectric sample using terahertz radiation.
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