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Multi-channel temperature control system for semiconductor processing facilities 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F29B-029/00
출원번호 US-0828029 (2001-04-06)
발명자 / 주소
  • Jeong,In Kwon
출원인 / 주소
  • Oriol Inc.
대리인 / 주소
    McKenna Long & Aldridge LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 19

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (19)

  1. Mark F. Malinoski ; Thomas P. Jones ; Brian Annis ; Jonathan E. Turner, Apparatus, method and system of liquid-based, wide range, fast response temperature control of electronic device.
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  2. Higgins Robert W. (San Jose CA), Compact replaceable temperature control module.
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  3. Gregory W. Pautsch ; William J. Matthews ; Rich Rineck, Conditioning and filling system for a spray evaporative cooling working fluid.
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  4. Asakawa Kyoichi (Yamana JPX), Cooling apparatus for electronic system.
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  5. Fujisaki Akihiko (Kawasaki JPX) Katsumi Hideo (Kawasaki JPX), Cooling system for electronic device.
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  6. Alexander Arthur Ray ; Porter ; deceased Warren W., Focused air cooling employing a dedicated chiller.
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  7. Teshima Yasuhiro (Oyama JPX) Niishiro Mamoru (Yuki JPX) Matsubayashi Michinori (Utsunomiya JPX), Heating furnace in combination with electronic circuit modules.
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  8. Hamilton Harold E. (Minneapolis MN) Bloch Brian R. (Cedar MN) Zimmer James R. (Cologne MN), Method for burn-in of high power semiconductor devices.
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  9. Turner Norman L. (Mountain View CA) White John M. (Los Gatos CA) Berkstresser David (Los Gatos CA), Method of heating and cooling large area substrates and apparatus therefor.
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  10. Schaper Charles D. ; El-Awady Khalid A. ; Kailath Thomas, Multizone bake/chill thermal cycling module.
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  11. Getchel Paul A. ; Lyden Henry A. ; Miffitt Donald C., Power and control system for a workpiece chuck.
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  12. Alexander Arthur Ray, Remotely located pulse tube for cooling electronics.
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  13. Yoshikawa Tomio (Shimizu) Kato Takashi (Shimizu) Yamashita Tetsuji (Shizuoka) Murakami Kyoshiro (Shimizu) Zushi Shizuo (Hadano JPX), System for controlling cooling equipment.
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  14. Cowans Kenneth W. ; Zubillaga Glenn, Systems and methods for capacity regulation of refrigeration systems.
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  15. Sloan Ben J. ; Reed William G., Temperature control apparatus with recirculated coolant.
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  16. Cowans Kenneth W., Temperature control of individual tools in a cluster tool system.
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  17. Kholodenko Arnold ; Lee Ke Ling ; Shendon Maya ; Quiles Efrain, Temperature control system for semiconductor process chamber.
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  18. Hunter Reginald, Temperature control system for semiconductor processing facilities.
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  19. Kerner James M. (779 Hillgrove Chico CA 95926), Thermoelectric closed-loop heat exchange system.
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이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Ricci, Anthony; Ullal, Saurabh; Kang, Michael; Busche, Matthew, Apparatus and method for temperature control of a semiconductor substrate support.
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  2. Patel, Chandrakant D.; Sharma, Ratnesh K.; Bash, Cullen E.; Beitelmal, Abdlmonem H., Controlled cooling of a data center.
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