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[미국특허] High quality oxide on an epitaxial layer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/336
  • H01L-021/02
출원번호 US-0593949 (1996-01-30)
발명자 / 주소
  • Lee,Ruojia R.
  • Thakur,Randhir P. S.
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Schwegman, Lundberg, Woessner & Kluth, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 21

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (21) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Thakur Randhir P. S. (Boise ID) Mathews Viju K. (Boise ID), Advanced technique to improve the bonding arrangement on silicon surfaces to promote uniform nitridation.
  2. Sato Noriaki (Kawasaki JPX) Mieno Fumitake (Kawasaki JPX), An integrated semiconductor device having a buried semiconductor layer and fabrication method thereof.
  3. Ihantola Heikki,FIX, Apparatus and method for processing of semiconductors, such as silicon chips.
  4. Aoki Kenji (Tokyo JPX), Apparatus for forming a semiconductor crystal.
  5. Sakamoto Mitsuru (Tokyo JPX), Device comprising lower and upper silicon layers as capacitor electrodes and method of manufacturing such devices.
  6. Lemelson Jerome H. (85 Rector St. Metuchen NJ 08840), Electrical device of semi-conducting material with non-conducting areas.
  7. Lee Roger R. (Boise ID), Floating gate memory device having discontinuous gate oxide thickness over the channel region.
  8. Lee Ruojia (Boise ID), High performance sub-micron p-channel transistor with germanium implant.
  9. Sandhu Gurtej S. (Boise ID) Fazan Pierre (Boise ID), High performance thin film transistor (TFT) by solid phase epitaxial regrowth.
  10. Sato Noriaki (Kawasaki JPX) Mieno Fumitake (Kawasaki JPX), Integrated semiconductor device having a buried semiconductor layer and fabrication method thereof.
  11. Thakur Randhir P. S. (Boise ID) Martin Annette L. (Boise ID) Kauffman Ralph E. (Boise ID), Method for fabricating hybrid oxides for thinner gate devices.
  12. Sandhu Gurtej S. (Boise ID) Thakur Randhir P. S. (Boise ID), Method for fabricating stacked layer Si3N4 for low leakage high capacitance films using rapi.
  13. Thakur Randir P. S. (Boise ID) Gonzalez Fernando (Boise ID), Method for optimizing thermal budgets in fabricating semiconductors.
  14. Lee Roger R. (Boise ID), Method of making a cell structure for a programmable read only memory device.
  15. Prall Kirk (Boise ID) Pan Pai-Hung (Boise ID) Sharan Sujit (Boise ID), Method of making a field effect transistor having an elevated source and an elevated drain.
  16. Sakamoto Mitsuru (Tokyo JPX), Method of making a semiconductor device comprising lower and upper silicon layers as capacitor electrodes.
  17. Ahmad Aftab (Boise ID) Thakur Randhir P. S. (Boise ID), Method of manufacturing small geometry MOS field-effect transistors having improved barrier layer to hot electron inject.
  18. Bhattacherjee Arya (Newark CA) Koutny William (Santa Clara CA) Shrivastava Ritu (Fremont CA) Rodgers Thurman J. (Woodside CA), Rapid thermal nitridized oxide locos process.
  19. Fujishiro Felix (San Antonio TX) Lee Chang-Ou (San Antonio TX) Vines Landon (Boise ID), Rapid thermal oxidation of silicon in an ozone ambient.
  20. Howell Paul J. (Federal Way WA), Selective epitaxy BiCMOS process.
  21. Mieno Fumitake (Kawasaki JPX) Kurita Kazuyuki (Yokohama JPX) Nakamura Shinji (Yokohama JPX) Shimizu Atuo (Kawasaki JPX), Vapor deposition method for simultaneously growing an epitaxial silicon layer and a polycrystalline silicone layer over.

이 특허를 인용한 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Sadaka, Mariam G.; Mendicino, Michael A., Isolation trench processing for strain control.
  2. Clark, James Edward, Pond water diversion apparatus for flood control and prevention of castor infestation.

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