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연합인증

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Low cost bonding pad and method of fabricating same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-023/48
출원번호 US-0164653 (2005-11-30)
발명자 / 주소
  • Brigante,Jeffrey Alan
  • He,Zhong Xiang
  • Waterhouse,Barbara Ann
  • White,Eric Jeffrey
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Schmeiser, Olsen & Watts
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 7

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

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이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Yu, Hsiu-Mei; Chou, Ken-Shen; Cheng, Hsiu-Chieh; Hsu, Shun-Liang, Elastomer plating mask sealed wafer level package method.
  2. Barth, Hans-Joachim; Felsner, Petra; Kaltalioglu, Erdem; Friese, Gerald, FBEOL process for Cu metallizations free from Al-wirebond pads.
  3. Lopatin, Sergey; Wang, Fei; Schonauer, Diana; Avanzino, Steven C., Interconnect structure formed in porous dielectric material with minimized degradation and electromigration.
  4. Adams John A. ; Krulik Gerald A. ; Smith Everett D., Method and apparatus for non-contact metal plating of semiconductor wafers using a bipolar electrode assembly.
  5. Ramanathan, Sivakami; Padhi, Deenesh; Gandikota, Srinivas; Dixit, Girish A., Post rinse to improve selective deposition of electroless cobalt on copper for ULSI application.
  6. Dubin Valery M. (Cupertino CA) Schacham-Diamand Yosi (Ithaca NY) Zhao Bin (Irvine CA) Vasudev Prahalad K. (Austin TX) Ting Chiu H. (Saratoga CA), Use of cobalt tungsten phosphide as a barrier material for copper metallization.
  7. Besser Paul R. ; Cheung Robin W., Wire bonding CU interconnects.
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