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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0115951 (2005-04-26) |
등록번호 | US-7292428 (2007-11-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 13 |
A lift pin assembly for use in a reactor for processing a workpiece includes plural lift pins extending generally parallel with a lift direction, each of the plural lift pins having a top end for supporting a workpiece and a bottom end. A lift table faces the bottom ends of the pins and is translata
What is claimed is: 1. A lift pin assembly for use in a reactor for processing a workpiece, said lift pin assembly comprising: plural lift pins extending generally parallel with a lift direction, each of said plural lift pins having a top end for supporting a workpiece and a bottom end; a lift tabl
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