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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0696254 (2003-10-29) |
등록번호 | US-7352053 (2008-04-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 20 |
A method of manufacturing a mechanically robust insulating layer, including forming a low-k dielectric layer having a first dielectric constant on a substrate and forming a carbon nitride cap layer on the low-k dielectric layer, the insulating layer thereby having a second dielectric constant that i
The invention claimed is: 1. An integrated circuit device, comprising: a substrate having at least one microelectronic device located therein; and an insulating layer located over the substrate, including: a thin-film, low-k dielectric layer having a first dielectric constant; and a carbon nitride
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