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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0802353 (2007-05-22) |
등록번호 | US-7361076 (2008-04-22) |
우선권정보 | JP-2004-202970(2004-07-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 15 |
A polishing method can automatically reset polishing conditions according to a state of a polishing member based on data on a polishing profile changing with time, thereby extending life of the polishing member and obtaining flatness of a polished surface with higher accuracy. The polishing method,
What is claimed is: 1. A method for polishing an object by using a polishing apparatus including a top ring having pressing portions for pressing a back surface of the object, a retainer ring, and a polishing surface, said method comprising: storing in a memory back surface pressures to be applied
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