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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0384017 (2006-03-17) |
등록번호 | US-7369242 (2008-05-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 23 |
An apparatus is provided for measuring a gas within a semiconductor thin film process. The apparatus includes an optical resonator disposed within an environment of the thin-film process, a tunable laser that excites the optical resonator at a characteristic frequency of the gas and a detector that
The invention claimed is: 1. An apparatus for measuring a gas within a semiconductor thin film process, such apparatus comprising: a reactive gas stream of the thin-film process; an optical resonator disposed within the reactive gas stream of the thin-film process; a tunable laser that excites the
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