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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0321707 (2002-12-17) |
등록번호 | US-7372001 (2008-05-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 12 |
A ceramics heater comprises a circular heater plate formed of aluminum nitride and a metal foil heater wire formed of a high-melting metal and having a thickness of 100 μm to 175 μm. The heater wire is embedded in the heater plate. The heater wire has an inside portion located near the cen
What is claimed is: 1. A ceramics heater comprising: a circular heater plate integrally formed of sintered ceramics as one piece having a flat upper surface; and a metal-foil heater wire formed of a high-melting metal, having a thickness of 125 μm to 175 μm, and embedded in the integral c
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